У великој производњи интегрисаних кола, након сваке фазе, мора се испрати водом. Јер приликом извођења микрофабрикације на микронском нивоу потребно је избегавати контакт са нечистоћама које ће погоршати перформансе полупроводника и спречити нечистоће да уђу у гасовод. Да би се постигао овај циљ, вода која се користи за испирање мора бити строго прочишћена и припремљена ултрачистом машином за воду.
Изузетно чиста вода потребна за производњу интегрисаних кругова великих размера не може се добити из природе, већ мора бити припремљена машином за ултрачисту воду или другим методама. Рафинација ултрачисте воде подељена је на третман чисте воде и секундарни третман чисте воде. Уопштено говорећи, централизовани третман чисте воде коју у сваку радионицу испоручује Смарт-С машина за ултрачисту воду је третман чисте воде, а третман који обавља свака радионица је секундарни третман чисте воде.
Извор воде прочишћен ултрачистом машином за воду укључује градску воду из славине, индустријску воду, речну, подземну, бунарску воду итд. Предтретман као што је филтрација треба извршити у складу са природом извора воде и воде, а затим треба користити пропусну мембрану и јонску размену. Мембрана уклања фину суспензију и супстанце растворене у њој као пример да би се добио квалитет воде потребан за производњу интегрисаних кола. Чиста вода коју припрема машина за ултрачисту воду већ је врло чиста, али врло је лако растворити друге супстанце. Због тога током складиштења и транспорта морате пазити да не будете поново контаминирани.
Да би се осигурало да квалитет воде у потпуности испуњава захтеве, на месту употребе потребна је пречишћавање, односно секундарни третман чисте воде машине за ултрачисту воду. Секундарна опрема за пречишћавање чисте воде инсталира се у или у близини изузетно чисте просторије у којој се производе полупроводнички уређаји. Машина за ултрачисту воду Смарт-С потребна за секундарни третман чисте воде укључује уређај за ултраљубичасту стерилизацију, уређај за не-регенерацијску касету, микрофилтер и мембрански филтер са супер филтрацијом итд., Након такве серије строге припреме Добијена ултрачиста вода може да задовољи потражња за водом у производњи интегрисаних кола.
